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Structural and electrical properties of Se-hyperdoped Si via ion implantation and flash lamp annealing

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作者
Fang Liu,Sławomir Prucnal,Ye Yuan,René Heller,Yonder Berencén,Roman Böttger,L. Rebohle,W. Skorupa,M. Helm,Shengqiang Zhou
出处
期刊：Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms [Elsevier]
日期：2018-04-06 卷期号：424: 52-55 被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.nimb.2018.03.033
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