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Scaling up a horizontal HVPE reactor

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作者
C.E.C. Dam,T. Bohnen,Chris R. Kleijn,P.R. Hageman,P.K. Larsen
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier]
卷期号:201 (22-23): 8878-8883 被引量:4
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2007.04.009
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