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Passivation effect on the surface characteristics and corrosion properties of yttrium oxide films undergoing SF6 plasma treatment

材料科学钝化钇 X射线光电子能谱蚀刻（微加工）氧化物表面粗糙度等离子体刻蚀透射电子显微镜扫描电子显微镜涂层溅射分析化学（期刊）复合材料薄膜冶金化学工程纳米技术图层（电子）化学色谱法工程类

作者

Wei‐Kai Wang,Sung‐Yu Wang,Yuhao Zhang,Shih-Yung Huang

出处

期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2022-03-28 卷期号：48 (14): 19824-19830 被引量：13

标识

DOI：10.1016/j.ceramint.2022.03.257

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