Passivation effect on the surface characteristics and corrosion properties of yttrium oxide films undergoing SF6 plasma treatment

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作者
Wei‐Kai Wang,Sung‐Yu Wang,Yuhao Zhang,Shih-Yung Huang
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier]
卷期号:48 (14): 19824-19830 被引量:10
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2022.03.257
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