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Automatic grid refinement for thin material layer etching in process TCAD simulations

蚀刻（微加工）材料科学图层（电子）过程（计算）网格计算机科学光电子学计算科学纳米技术几何学操作系统数学

作者

Christoph Lenz,Paul Manstetten,Luiz Felipe Aguinsky,Francio Rodrigues,Andreas Hössinger,Josef Weinbub

出处

期刊：Solid-state Electronics [Elsevier]
日期：2022-11-01 卷期号：200: 108534-108534

标识

DOI：10.1016/j.sse.2022.108534

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