Influence of the Bias Potential and Working Gas Pressure on the Properties of the TiSiN/NbN Ion Plasma Multilayer Coating

涂层 材料科学 离子 等离子体 气体压力 复合材料 化学 物理 核物理学 地质学 石油工程 有机化学
作者
D. V. Horokh,Olga Maksakova,S. А. Klymenko,S. V. Lytovchenko,В. М. Береснев,Oleg V. Glukhov
出处
期刊:Journal of Superhard Materials [Pleiades Publishing]
卷期号:44 (6): 413-420 被引量:1
标识
DOI:10.3103/s1063457622060041

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