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A novel quasi-static MEMS piezoelectric micromirror array with a high fill factor and three degrees of freedom

微电子机械系统 压电 材料科学 自由度（物理和化学） 光学 光电子学 物理 复合材料 量子力学
作者
Yongquan Su,Yichen Liu,Yang Wang,Qianying Sun,Qifeng Qiao,Zhichao Weng,Lihao Wang,Zhenyu Wu
出处
期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier]
日期：2024-06-21 卷期号：376: 115597-115597
标识
DOI：10.1016/j.sna.2024.115597
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