SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
N2气氛下快速退火（RTA）对硅片氧沉淀密度和表面形貌的影响
计算机科学
作者
冯泉林,
周旗钢,
王敬,
Bin Liu,
刘佐星
出处
期刊：稀有金属
日期：2005-01-01
卷期号：29 (6): 810-813
链接
cqvip.com
摘要
快速退火(RTA)单晶硅片时,硅片内部会形成一种特殊的空位分布.空位的分布将决定后序两步退火(800℃,4h+1000℃,16h)后生成的洁净区宽度和氧沉淀密度.研究了N2气氛下,不同RTA恒温时间对洁净区形成和氧沉淀密度的影响.发现延长RTA恒温时间,会增加氧沉淀密度.使用原子探针显微镜(原子力显微镜)研究了RTA后表面形貌的变化.发现在N2气氛下RTA处理过的硅片,表面微粗糙度略有增加.
求助该文献
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
更新
2025年影响因子查询已上线
(2025-6-18)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
在水一方
上传了
应助文件
10秒前
瞬间
发布了新的
文献求助
10
16秒前
矢思然
完成签到，获得积分
10
17秒前
小蛙
完成签到，获得积分
10
31秒前
潇漠
完成签到，获得积分
20
36秒前
小二郎
的
应助
被
小蛙
采纳，获得
10
41秒前
优美的冰巧
完成签到
，获得积分
10
45秒前
yyn
完成签到，获得积分
10
51秒前
LL
发布了新的
文献求助
10
52秒前
shuzi
完成签到，获得积分
10
1分钟前
djdh
完成签到
，获得积分
10
1分钟前
LL
发布了新的
文献求助
10
2分钟前
斯文败类
的
应助
被
twk
采纳，获得
10
2分钟前
bkagyin
的
应助
被
Yuanyuan
采纳，获得
10
2分钟前
斯文败类
上传了
应助文件
3分钟前
twk
发布了新的
文献求助
10
3分钟前
ding
的
应助
被
twk
采纳，获得
10
3分钟前
科研通AI2S
上传了
应助文件
3分钟前
科研通AI6.2
上传了
应助文件
4分钟前
phoenix
发布了新的
文献求助
10
4分钟前
科研通AI2S
上传了
应助文件
4分钟前
ding
上传了
应助文件
4分钟前
天天快乐
的
应助
被
phoenix
采纳，获得
10
4分钟前
phoenix
完成签到，获得积分
10
4分钟前
twk
发布了新的
文献求助
10
4分钟前
TXZ06
完成签到，获得积分
10
4分钟前
BowieHuang
上传了
应助文件
4分钟前
丘比特
的
应助
被
twk
采纳，获得
10
5分钟前
涂鸦少年
完成签到
，获得积分
10
5分钟前
量子星尘
发布了新的
文献求助
10
5分钟前
哈哈
完成签到，获得积分
10
5分钟前
szx233
完成签到
，获得积分
10
5分钟前
小二郎
上传了
应助文件
6分钟前
小蛙
发布了新的
文献求助
10
6分钟前
Willow
完成签到，获得积分
10
6分钟前
科研通AI2S
上传了
应助文件
6分钟前
bkagyin
上传了
应助文件
7分钟前
Yuanyuan
发布了新的
文献求助
10
7分钟前
BowieHuang
上传了
应助文件
7分钟前
小豹子
完成签到，获得积分
10
7分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Aerospace Standards Index - 2026 ASIN2026
3000
Polymorphism and polytypism in crystals
1000
Signals, Systems, and Signal Processing
610
Discrete-Time Signals and Systems
610
Research Methods for Business: A Skill Building Approach, 9th Edition
500
Social Work and Social Welfare: An Invitation（7th Edition）
410
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
工程类
纳米技术
有机化学
物理
生物化学
化学工程
计算机科学
复合材料
内科学
催化作用
光电子学
物理化学
电极
冶金
遗传学
细胞生物学
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
6050926
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
7852077
关于积分的说明
16267023
捐赠科研通
5196078
什么是DOI，文献DOI怎么找？
2780445
邀请新用户注册赠送积分活动
1763375
关于科研通互助平台的介绍
1645370
今日热心研友
大力的灵雁
8
664
友好的季节
41
40
橘x
3
370
BowieHuang
37
干净的琦
13
120
寻道图强
5
160
小不点
12
80
GingerF
13
50
细腻不二
9
90
nn
16
YifanWang
11
Hi
110
互助
5
60
愔愔
10
RJ
80
无极微光
80
Null
80
takii
70
loii
2
50
hbhbj
6
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
大力的灵雁
友好的季节
橘x
BowieHuang
干净的琦
寻道图强
小不点
GingerF
细腻不二
nn
YifanWang
Hi
互助
愔愔
RJ
无极微光
Null
takii
loii
hbhbj
皖公网安备34019202002308
