Temperature Characteristics of 4H-SiC Substrate and Thin-Film Resistor Applied in MEMS Piezoresistive Sensors

压阻效应 电阻器 材料科学 微电子机械系统 碳化硅 基质(水族馆) 光电子学 温度系数 温度测量 薄膜 电子工程 复合材料 电气工程 纳米技术 工程类 电压 海洋学 物理 量子力学 地质学
作者
Yanxin Zhai,Tiantong Xu,Guoqiang Xu,Xiaoda Cao,Zhi Tao,Haiwang Li
出处
期刊:IEEE Sensors Journal [IEEE Sensors Council]
卷期号:23 (24): 30231-30240 被引量:1
标识
DOI:10.1109/jsen.2023.3330486
摘要

Silicon carbide (SiC) is currently the preferred material for micro-electromechanical system (MEMS) sensors used in extreme environments and it has been applied in many high-temperature piezoresistive sensors. However, there has been a lack of accumulated data and references for research on the characteristics of the 4H-SiC substrate and thin-film resistors used in high-temperature environments. Consequently, the effect of temperature on the sensor in high-temperature environments cannot be evaluated in advance at the design stage. In this study, the mechanical characteristics of a 4H-SiC substrate and the thin-film resistor resistivity were examined based on the temperature error model of a typical MEMS piezoresistive sensor and the temperature function models were established, which could be used to analyze the temperature effect of the sensors under high temperature conditions. All the test data were integrated into a typical physical chip including a 4H-SiC substrate and thin-film resistors. The simulation results of the device exhibited a high consistency with the test results, the largest average error being only 4.53%, verifying the correctness and validity of the test data. This study proposed the data models for the temperature characteristics of 4H-SiC materials, providing powerful support for the design and development of high-temperature MEMS sensors.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
冥冥之极为昭昭应助ty采纳,获得10
刚刚
给刘宇宁的粉丝一篇文献吧完成签到,获得积分10
刚刚
白日梦想家完成签到,获得积分10
刚刚
博慧发布了新的文献求助10
1秒前
123123123发布了新的文献求助10
2秒前
靓丽忆枫完成签到,获得积分10
2秒前
hui发布了新的文献求助10
2秒前
Eva完成签到,获得积分10
3秒前
3秒前
橙子完成签到,获得积分10
3秒前
难受的难受完成签到,获得积分10
3秒前
小白完成签到,获得积分10
3秒前
Yana1311完成签到,获得积分10
4秒前
4秒前
ling关注了科研通微信公众号
6秒前
6秒前
潮汐完成签到,获得积分10
6秒前
6秒前
7秒前
我是老大应助Mifabric采纳,获得10
7秒前
sun_X发布了新的文献求助10
7秒前
7秒前
曙光发布了新的文献求助10
8秒前
41应助liusichong采纳,获得10
8秒前
汉堡包应助姚芭蕉采纳,获得10
8秒前
tiantian发布了新的文献求助10
8秒前
shao完成签到 ,获得积分10
9秒前
NKTreg完成签到,获得积分10
9秒前
NexusExplorer应助庐山烟雨采纳,获得10
10秒前
10秒前
rrrrroxie发布了新的文献求助10
10秒前
七七发布了新的文献求助10
11秒前
往前冲完成签到,获得积分10
12秒前
卡拉米完成签到,获得积分10
13秒前
13秒前
kitty发布了新的文献求助10
13秒前
罗rr完成签到 ,获得积分10
14秒前
23xyke完成签到,获得积分10
14秒前
wwewew完成签到,获得积分10
14秒前
知性的紫寒完成签到 ,获得积分10
14秒前
高分求助中
【提示信息,请勿应助】关于scihub 10000
The Mother of All Tableaux: Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 3000
Social Research Methods (4th Edition) by Maggie Walter (2019) 2390
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
北师大毕业论文 基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 390
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 360
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 4009325
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3549162
关于积分的说明 11301105
捐赠科研通 3283572
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1810370
邀请新用户注册赠送积分活动 886205
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 811301