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Effect of helium ion beam treatment on the etching rate of silicon nitride

材料科学 蚀刻(微加工) 离子 离子注入 氢氟酸 氮化硅 缓冲氧化物腐蚀 反应离子刻蚀 分析化学(期刊) 离子束 原子物理学 光电子学 化学 纳米技术 冶金 物理 有机化学 图层(电子) 色谱法
作者
Yu. V. Petrov,T. V. Sharov,А. П. Барабан,О. Ф. Вывенко
出处
期刊:Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms [Elsevier]
卷期号:349: 90-95 被引量:11
标识
DOI:10.1016/j.nimb.2015.02.054

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