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Vertically grown metal nanosheets integrated with atomic-layer-deposited dielectrics for transistors with subnanometre capacitance-equivalent thicknesses

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作者
NULL AUTHOR_ID,NULL AUTHOR_ID,Wei Ai,NULL AUTHOR_ID,Zunxian Lv,Bing Wang,Mingjian Yang,NULL AUTHOR_ID,NULL AUTHOR_ID
出处
期刊：Nature electronics [Springer Nature]
日期：2024-07-08
标识
DOI：10.1038/s41928-024-01202-3
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