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Si metal-oxide-semiconductor field-effect transistor on Si-on-SiC directly bonded wafers with high thermal conductance

材料科学 薄脆饼 MOSFET 光电子学 场效应晶体管 热导率 晶体管 半导体 复合材料 电气工程 电压 工程类
作者
Hiroshi Shinohara,Hiroyuki Kinoshita,Masahiro Yoshimoto
出处
期刊:Applied Physics Letters [American Institute of Physics]
卷期号:93 (12) 被引量:26
标识
DOI:10.1063/1.2991449
摘要

Single-crystalline Si wafers were directly bonded to single-crystalline 6H-SiC wafers (Si-on-SiC), followed by thinning of the Si wafers to around 1μm. A Si metal-oxide-semiconductor field-effect transistor (MOSFET) was then fabricated on the Si layer. In a high-temperature atmosphere (∼300°C), the channel mobility of a Si MOSFET on a conventional Si wafer degraded by around 80%. The Si MOSFET fabricated on the Si-on-SiC wafer, however, showed almost no degradation in its channel mobility from heating. This confirmed that the high thermal conductivity of single-crystalline 6H-SiC improves the heat dissipation performance of Si MOSFETs.
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