Plasma-ion-assisted deposition of HfO2 films with low UV absorption

材料科学 等离子体 沉积(地质) 吸收(声学) 离子 光电子学 分析化学(期刊) 化学工程 纳米技术 复合材料 环境化学 古生物学 化学 物理 沉积物 生物 量子力学 工程类
作者
Wenyuan Deng,Chunshui Jin,Chun Li,Shun Yao,Bo Yu,Yu Liu
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:395: 125691-125691 被引量:5
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2020.125691
摘要

HfO2 films were fabricated by plasma-ion-assisted deposition of electron beam evaporation (PIAD-EBE) for low absorption applications in UV. The optical, structural and composition properties of the deposited HfO2 films were systematically investigated to evaluate the influence and its mechanism of four kind process parameters. The results revealed that the crystal orientation of the monoclinic phase in the HfO2 films was very sensitive to momentum transfer originating from the plasma ions or the substrate temperature. Besides, the evolution of the crystal orientation with momentum transfer showed a strong correlation with the refractive index and its inhomogeneity in the HfO2 films. An optimized HfO2 film with very low extinction coefficients and high refractive index, which was critical to UV applications such as HR mirrors and solar-blind filters, was obtained.
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