Plasma-ion-assisted deposition of HfO2 films with low UV absorption

材料科学 等离子体 沉积(地质) 吸收(声学) 离子 光电子学 分析化学(期刊) 化学工程 纳米技术 复合材料 环境化学 古生物学 化学 物理 沉积物 生物 量子力学 工程类
作者
Wenyuan Deng,Chunshui Jin,Chun Li,Shun Yao,Bo Yu,Yu Liu
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:395: 125691-125691 被引量:5
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2020.125691
摘要

HfO2 films were fabricated by plasma-ion-assisted deposition of electron beam evaporation (PIAD-EBE) for low absorption applications in UV. The optical, structural and composition properties of the deposited HfO2 films were systematically investigated to evaluate the influence and its mechanism of four kind process parameters. The results revealed that the crystal orientation of the monoclinic phase in the HfO2 films was very sensitive to momentum transfer originating from the plasma ions or the substrate temperature. Besides, the evolution of the crystal orientation with momentum transfer showed a strong correlation with the refractive index and its inhomogeneity in the HfO2 films. An optimized HfO2 film with very low extinction coefficients and high refractive index, which was critical to UV applications such as HR mirrors and solar-blind filters, was obtained.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
刚刚
eleven完成签到,获得积分10
刚刚
科研小虫发布了新的文献求助10
刚刚
zxm发布了新的文献求助10
刚刚
Mr.Su发布了新的文献求助10
1秒前
SYLH应助jun采纳,获得20
2秒前
小龙完成签到,获得积分10
2秒前
所所应助留胡子的海豚采纳,获得10
2秒前
xiaokezhang发布了新的文献求助10
2秒前
坚果发布了新的文献求助10
2秒前
阳光项链发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
机智思真发布了新的文献求助10
3秒前
4秒前
5秒前
科研通AI2S应助强健的蚂蚁采纳,获得10
5秒前
多多完成签到,获得积分20
5秒前
大胆妖孽发布了新的文献求助10
5秒前
单耳元发布了新的文献求助10
5秒前
笨笨师发布了新的文献求助10
5秒前
Liuxinyan发布了新的文献求助10
6秒前
7秒前
美丽的绿草完成签到,获得积分10
7秒前
7秒前
hinini发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
8秒前
9秒前
10秒前
小吉完成签到,获得积分10
10秒前
zhang发布了新的文献求助10
10秒前
11秒前
11秒前
Earnestlee完成签到,获得积分10
11秒前
12秒前
吴青完成签到,获得积分10
12秒前
12秒前
13秒前
英俊小美发布了新的文献求助10
13秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
Technical Brochure TB 814: LPIT applications in HV gas insulated switchgear 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
A Preliminary Study on Correlation Between Independent Components of Facial Thermal Images and Subjective Assessment of Chronic Stress 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3970572
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3515219
关于积分的说明 11177438
捐赠科研通 3250374
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1795265
邀请新用户注册赠送积分活动 875750
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 805054