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Inverted Pyramid Texturization of Monocrystalline Silicon Surface by Cu-Assisted Chemical Etching at Different Conditions

单晶硅材料科学蚀刻（微加工）各向同性腐蚀硅棱锥（几何）结晶学纳米技术复合材料冶金光学图层（电子）化学物理

作者

Burcu Gümüş Çiftci,Çiğdem Güldür,Silver Güneş

出处

期刊：Silicon [Springer Science+Business Media]
日期：2025-03-15

标识

DOI：10.1007/s12633-025-03278-8

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