A High Quality Factor, 19-GHz Periodically Poled AlScN BAW Resonator Fabricated in a Commercial XBAW Process

谐振器 Q系数 质量(理念) 材料科学 光电子学 过程(计算) 因子(编程语言) 电气工程 工程类 计算机科学 物理 量子力学 操作系统 程序设计语言
作者
Izhar Izhar,Merrilyn Mercy Adzo Fiagbenu,Xingyu Du,Pariasadat Musavigharavi,Yang Deng,Akhil Gunda,Jeff Leathersich,Craig G. Moe,Abhay Kochhar,Eric A. Stach,Ramakrishna Vetury,Roy H. Olsson
出处
期刊:IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:71 (9): 5630-5637 被引量:1
标识
DOI:10.1109/ted.2024.3435175
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