Towards environmentally friendly processing of ionic liquid-based photoresists with a boosted lithography performance

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作者
Lifei Liu,Kuntong Song,Tong Feng,Ting Song,Jintong Li,Shangqing Chen,Weizhen Zhao,Suojiang Zhang
出处
期刊:Green Chemistry [The Royal Society of Chemistry]
卷期号:25 (15): 5989-5998 被引量:2
标识
DOI:10.1039/d3gc01520c
摘要

The development of a sustainable process for producing high-performance photoresists is desirable yet challenging.
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