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Model of Reactive Microwave Plasma Discharge for Growth of Single-Crystal Diamond

钻石 等离子体 微波食品加热 材料科学 离子源 光电子学 分析化学(期刊) 化学 冶金 环境化学 物理 核物理学 量子力学
作者
Hideaki Yamada,Akiyoshi Chayahara,Yoshiaki Mokuno,Shin-ichi Shikata
出处
期刊:Japanese Journal of Applied Physics [Institute of Physics]
卷期号:50 (1S1): 01AB02-01AB02 被引量:3
标识
DOI:10.7567/jjap.50.01ab02

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