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 Study of selective isotropic etching Si1−xGex in process of nanowire transistors 纳米线晶体管中选择性各向同性刻蚀Si1-xGex的研究
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期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics 作者：Junjie Li; Wenwu Wang; Yongliang Li; Na Zhou; Guilei Wang; et al 出版日期：2020-01-01 |
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