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 Nucleation and growth of low resistivity copper thin films on polyimide substrates by low-temperature atomic layer deposition 低温原子层沉积法在聚酰亚胺衬底上成核生长低电阻率铜薄膜
相关领域
聚酰亚胺
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期刊：Applied Surface Science 作者：Zihong Gao; Chengli Zhang; Junhua Gao; Qiang Wang; Guanglong Xu; et al 出版日期：2023-07-19 |
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