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 Smoothing surface roughness using Al2O3 atomic layer deposition Al2O3原子层沉积平滑表面粗糙度
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期刊：Applied Surface Science 作者：Tyler J. Myers; James A. Throckmorton; Rebecca A. Borrelli; Malcolm N. O’Sullivan; T. K. Hatwar; et al 出版日期：2021-08-13 |
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