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 Comparison of thermal stability of Mo/Si multilayers with different crystallinities of Mo layers 不同Mo层结晶度的Mo/Si多层膜热稳定性比较
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期刊：Applied Optics 作者：Hongxuan Song; Zhe Zhang; Xiangyue Liu; Qiushi Huang; Hongjun Zhou; et al 出版日期：2023-03-24 |
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