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 Extreme-ultraviolet-induced carbon growth at contaminant pressures between 10−10 and 10−6 mbar: Experiment and model 在10−10和10−6 mbar之间的污染物压力下，极紫外线诱导的碳生长：实验和模型
相关领域
极端紫外线
极紫外光刻
紫外线
吸附
十四烷
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环境化学
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Shannon B. Hill; C. Tarrio; Robert F. Berg; T. B. Lucatorto 出版日期：2020-09-11 |
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