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 Integrated electro-optic modulator on a lead zirconate titanate-silicon nitride heterogeneous platform 锆钛酸铅-氮化硅异质平台上的集成电光调制器
相关领域
材料科学
锆钛酸铅
氮化硅
光电子学
光学
铅（地质）
氮化物
硅
铁电性
纳米技术
电介质
物理
图层（电子）
地貌学
地质学
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