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 Design of a high temperature chemical vapor deposition reactor in which the effect of the condensation of exhaust gas in the outlet is minimized using computational modeling 高温化学气相沉积反应器的设计，其中使用计算模型使出口废气冷凝的影响最小化
相关领域
化学气相沉积
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化学
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Ji-Young Yoon; Byeong Geun Kim; Deok-Hui Nam; Chang Hyoung Yoo; Myung-Hyun Lee; et al 出版日期：2016-02-01 |
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