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标题
Phase Composition and Surface Morphology of Thin AlN Films Obtained trough Magnetron Sputtering
磁控溅射AlN薄膜的相组成和表面形貌
相关领域
溅射 化学 氮化物 溅射沉积 基质（水族馆） 氩 铝 氮气 薄膜 表面粗糙度 氮化锆 硅 分析化学（期刊） 氮化铝 氮化硅 表面光洁度 复合材料 材料科学 纳米技术 氮化钛 图层（电子） 海洋学 有机化学 色谱法 地质学
网址
https://doi.org/10.1134/s0018143923070056
DOI
10.1134/s0018143923070056 doi
其它 期刊：High Energy Chemistry
作者：Л. В. Баранова; В. И. Струнин; B. T. Baysova; N. A. Chirikov
出版日期：2023-09-08
求助人
李豪杰 在 2024-11-26 15:43:01 发布自浙江，悬赏 10 积分
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