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Phase Composition and Surface Morphology of Thin AlN Films Obtained trough Magnetron Sputtering

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作者
Л. В. Баранова,В. И. Струнин,B. T. Baysova,N. A. Chirikov
出处
期刊：High Energy Chemistry [Springer Nature]
日期：2023-09-08 卷期号：57 (S1): S7-S10 被引量：1
标识
DOI：10.1134/s0018143923070056
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