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Choice of amines as stabilizers for chemically amplified resist systems
胺作为化学放大抗蚀剂体系稳定剂的选择
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网址
https://doi.org/10.1117/12.312413
DOI
10.1117/12.312413 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Lawrence Ferreira; Sanjay Malik; Thomas R. Sarubbi; Andrew J. Blakeney; Brian Maxwell
出版日期：1998-06-29
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虚心盼夏 在 2025-02-06 14:00:48 发布自上海，悬赏 20 积分
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