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标题
Investigation of the Trap States and V th Instability in Normally-Off GaN MIS-FETs With LPCVD SiN x /PEALD AlN Gate Dielectric Stack and In Situ H2/N2 Plasma Pretreatment
LPCVD、SiN、x/PEALD、AlN栅介质叠层和原位H2/N2等离子体预处理的GaN MIS-FET中陷阱态和V th不稳定性的研究
相关领域
钝化 材料科学 电介质 氮化硅 原子层沉积 氮化镓 等离子体 分析化学（期刊） 光电子学 纳米技术 物理 薄膜 硅 化学 图层（电子） 量子力学 有机化学
网址
https://doi.org/10.1109/ted.2023.3309618
DOI
10.1109/ted.2023.3309618 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Electron Devices
作者：Chung-Ching Huang; Jinyan Wang; Maojun Wang; Jin‐Sheng He; Mengjun Li; et al
出版日期：2023-11-01
求助人
小菜鸟 在 2024-03-26 11:09:34 发布自四川，悬赏 10 积分
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