Effect of nanosilica abrasive properties on tungsten chemical mechanical planarization

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标题	Effect of nanosilica abrasive properties on tungsten chemical mechanical planarization 纳米二氧化硅磨料性能对钨化学机械平坦化的影响相关领域化学机械平面化钨磨料材料科学复合材料冶金抛光
网址	https://doi.org/10.1007/s10854-023-11914-5
DOI	10.1007/s10854-023-11914-5 doi
其它	期刊：Journal of materials science. Materials in electronics 作者：J.P. Zhang; Rong Guo; L. Wang; Wenxiang Xie; Deng Pan; et al 出版日期：2024-02-01
求助人	巴拉拉在 2024-05-23 08:59:11 发布自上海，悬赏 10 积分
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