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 Design of bi-axial piezoelectric MEMS micro mirror with gimbal actuator for dynamic decoupling 用于动态解耦的万向驱动器双轴压电MEMS微镜设计
相关领域
万向节
解耦（概率）
微电子机械系统
执行机构
压电
工程类
控制理论（社会学）
声学
材料科学
电子工程
计算机科学
物理
控制工程
航空航天工程
电气工程
光电子学
控制（管理）
人工智能
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Yang Huiming; Chih-Chen Hsu; Po‐Chun Lin; Hung‐Yu Lin; Sihan Chen; et al 出版日期：2024-09-23 |
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