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 Extreme silicon thinning for back side power delivery network: Si thinning stopping on scaled SiGe etch stop layer 用于背侧功率传输网络的极端硅减薄：在缩放的SiGe蚀刻停止层上停止Si减薄
相关领域
稀释
硅
图层（电子）
材料科学
蚀刻（微加工）
阻止力
光电子学
纳米技术
计算机科学
电信
生态学
探测器
生物
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