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标题
On The Dissolution Kinetics Of Positive Photoresists: The Secondary Structure Model
正性光刻胶的溶解动力学:二级结构模型
相关领域
溶解 动力学 分子内力 离子强度 材料科学 分子 离子键合 氢键 热力学 化学 化学工程 物理化学 有机化学 离子 物理 量子力学 水溶液 工程类
网址
DOI
10.1117/12.940318 doi
其它 期刊:Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者:Michael K. Templeton; Charles R. Szmanda; Anthony Zampini
出版日期:1987-08-25
求助人
虚心盼夏 在 2025-02-12 19:18:39 发布自上海,悬赏 20 积分
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