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Silver Metallization with Controlled Etch Stop Using SiOx Layers in Passivating Contacts for Improved Silicon Solar Cell Performance
在钝化触点中使用SiOx层控制蚀刻停止的银金属化改善硅太阳电池性能
相关领域
多晶硅
材料科学
微晶
钝化
硅
太阳能电池
图层(电子)
蚀刻(微加工)
晶体硅
化学气相沉积
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冶金
薄膜晶体管
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期刊:Solar RRL 作者:Raphael Glatthaar; Franz Schmidt; Adnan Hammud; Thomas Lunkenbein; Tobias Okker; et al 出版日期:2023-09-12 |
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