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New Polyimides Coating Technology for Next Generation Semiconductor Application
面向下一代半导体应用的新型聚酰亚胺涂层技术
相关领域
聚酰亚胺
材料科学
半导体
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期刊:ECS Transactions 作者:Kohji Katoh; Masayuki Ohe; Hiroshi Komatsu; Takeharu Motobe; Takashi Hattori; et al 出版日期:2007-04-27 |
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