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标题
Effect of size and plasma treatment and the application of Weibull distribution on the breakdown of PECVD SiNx MIM capacitors
尺寸、等离子体处理及威布尔分布对PECVD SiNx MIM电容器击穿的影响
相关领域
威布尔分布 等离子体增强化学气相沉积 电容器 材料科学 等离子体 光电子学 电气工程 数学 物理 工程类 化学气相沉积 电压 统计 量子力学
网址
https://doi.org/10.1016/j.mee.2007.04.151
DOI
10.1016/j.mee.2007.04.151 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：Chia-Cheng Ho; Sien Chi
出版日期：2007-05-17
求助人
ddg 在 2024-12-04 13:18:13 发布自江苏，悬赏 10 积分
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