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标题
Challenge of Boron-Doped Silicon Hard Mask Removal
硼掺杂硅硬掩模去除的挑战
相关领域
蚀刻（微加工） 材料科学 硅 硼 兴奋剂 光电子学 聚合物 选择性 图层（电子） 纳米技术 复合材料 化学 催化作用 有机化学
网址
https://doi.org/10.1109/cstic61820.2024.10531907
DOI
10.1109/cstic61820.2024.10531907 doi
其它 期刊：
作者：Xuehua Wang; Litian Xu; Tian Cheng
出版日期：2024-03-17
求助人
Litoivda 在 2025-01-11 14:28:19 发布，悬赏 10 积分
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