Integrated grating/detector array fabricated in silicon using micromachining techniques

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标题	Integrated grating/detector array fabricated in silicon using micromachining techniques 相关领域光电子学制作微电子机械系统探测器
网址	https://doi.org/10.1016/0924-4247(92)80114-i
DOI	10.1016/0924-4247(92)80114-i doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A-physical 作者：T.A. Kwa; José Higino Correia 出版日期：1992-03-01
求助人	Ryanking 在 2022-11-22 14:52:02 发布自浙江，悬赏 10 积分
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