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 Simulation of slurry residence time during chemical-mechanical polishing using 3-D computational fluid dynamics 相关领域
泥浆
停留时间（流体动力学）
抛光
计算流体力学
停留时间分布
化学机械平面化
机械
材料科学
机械工程
工程类
物理
复合材料
岩土工程
流量（数学）
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