| 标题 |
 Modeling of chemical mechanical polishing processes by cellular automata and finite element/matlab integration methods 基于元胞自动机和有限元/matlab集成方法的化学机械抛光过程建模
相关领域
化学机械平面化
有限元法
抛光
MATLAB语言
薄脆饼
参数统计
计算机科学
过程（计算）
细胞自动机
机械工程
工程制图
材料科学
结构工程
算法
工程类
数学
程序设计语言
纳米技术
统计
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Microsystem Technologies 作者：Kuo‐Shen Chen; Shang‐Lun Wu; Hsiu‐Ming Yeh 出版日期：2014-08-12 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
劲秉
lin
彭于彦祖
杳鸢
带头大哥
Billy
一一
子车茗
嗯哼
平常的毛豆
模糊中正
mhl11
独特的紫蓝
萧水白
宜醉宜游宜睡
tuanheqi
fifteen
竹筏过海
Leonardi
xjcy
皖公网安备34019202002308
