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Modeling of chemical mechanical polishing processes by cellular automata and finite element/matlab integration methods

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作者

Kuo‐Shen Chen,Shang‐Lun Wu,Hsiu‐Ming Yeh

出处

期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Nature]
日期：2014-08-12 卷期号：21 (9): 1879-1892 被引量：6

标识

DOI：10.1007/s00542-014-2302-9

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