Passivation Mechanisms in Locally Etched P-Type Poly-Si on Silicon Nitride/Silicon Oxide Stack - 科研通

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标题	Passivation Mechanisms in Locally Etched P-Type Poly-Si on Silicon Nitride/Silicon Oxide Stack 氮化硅/氧化硅叠层上局部蚀刻P型多晶硅的钝化机制相关领域钝化氮化硅硅堆栈（抽象数据类型）材料科学光电子学氧化硅蚀刻（微加工）氧化物机车氮化物图层（电子）纳米技术计算机科学冶金程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1109/pvsc57443.2024.10748797
DOI	10.1109/pvsc57443.2024.10748797 doi
其它	期刊：作者：D.W. Steyn; Bill Nemeth; Steven P. Harvey; David L. Young; Paul Stradins; et al 出版日期：2024-06-09
求助人	dery 在 2024-12-28 12:19:14 发布自江苏，悬赏 10 积分
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