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 Comparative Analysis of Microstructure, Electrical and Optical Performance in Sidewall Etching Process for GaN-Based Green Micro-LED GaN基绿色微型LED侧壁刻蚀工艺的微结构、电学和光学性能对比分析
相关领域
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期刊：Journal of Physics D 作者：X. Li; Xujun Su; Guobin Wang; Jingjing Chen; Lühua Wang; et al 出版日期：2024-06-10 |
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