标题 |
Ultrafast pulse laser inscription and surface quality characterization of micro-structured silicon wafer
微结构硅片的超快脉冲激光刻蚀及表面质量表征
相关领域
材料科学
薄脆饼
硅
超短脉冲
激光烧蚀
激光器
光电子学
轮廓仪
烧蚀
涂层
光学
复合材料
表面粗糙度
物理
工程类
航空航天工程
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DOI | |
其它 |
期刊:Journal of Manufacturing Processes 作者:S. Shalini; G.L. Samuel 出版日期:2021-02-01 |
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