标题 |
A high-SPL piezoelectric MEMS loud speaker based on thin ceramic PZT
基于薄陶瓷PZT的高SPL压电MEMS扬声器
相关领域
微电子机械系统
压电
材料科学
陶瓷
制作
基质(水族馆)
声学
电压
足迹
光电子学
电气工程
工程类
复合材料
物理
海洋学
地质学
生物
医学
病理
古生物学
替代医学
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网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Sensors and Actuators A-physical 作者:Haoran Wang; Zhenfang Chen; Huikai Xie 出版日期:2020-07-01 |
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