High‐Q Thin‐Film Lithium Niobate Microrings Fabricated with Wet Etching - 科研通

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标题	High‐Q Thin‐Film Lithium Niobate Microrings Fabricated with Wet Etching 湿法刻蚀制备高Q铌酸锂薄膜微环相关领域铌酸锂材料科学反应离子刻蚀蚀刻（微加工）制作光电子学抛光感应耦合等离子体薄膜干法蚀刻纳米技术光学等离子体复合材料图层（电子）医学替代医学物理病理量子力学
网址	https://doi.org/10.1002/adma.202208113
DOI	10.1002/adma.202208113 doi
其它	期刊：Advanced Materials 作者：Rongjin Zhuang; Jinze He; Yifan Qi; Yang Li 出版日期：2022-12-14
求助人	轻松元正在 2024-11-06 11:02:34 发布自上海，悬赏 10 积分
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