Robust silicon nitride LPCVD recipe development

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标题	Robust silicon nitride LPCVD recipe development 稳健的氮化硅LPCVD配方开发相关领域配方薄脆饼材料科学沉积（地质）氮化物氮化硅化学气相沉积工艺工程光电子学硅纳米技术化学工程类图层（电子）古生物学生物食品科学沉积物
网址	http://dx.doi.org/10.1109/SMELEC.2002.1217822
DOI	10.1109/SMELEC.2002.1217822 doi
求助人	静心在 2025-02-20 16:49:31 发布自中国，悬赏 10 积分
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