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 Atomic Layer Deposition: An Overview 原子层沉积：综述
相关领域
化学
原子层沉积
引用
计算机科学
纳米技术
沉积（地质）
社会化媒体
图书馆学
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地质学
沉积物
古生物学
材料科学
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期刊：Chemical Reviews 作者：Steven M. George 出版日期：2009-11-30 |
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