<title>Optimization of LPCVD silicon oxynitride growth to large refractive index homogeneity and layer thickness uniformity</title>

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标题	<title>Optimization of LPCVD silicon oxynitride growth to large refractive index homogeneity and layer thickness uniformity</title> 优化LPCVD氮氧化硅生长以获得大折射率均匀性和层厚均匀性相关领域氮化硅同质性（统计学）折射率材料科学化学气相沉积硅光电子学薄膜原子层沉积光学纳米技术计算机科学氮化硅机器学习物理
网址	https://doi.org/10.1117/12.281235 AI链接 utwente.nldoi.org
DOI	10.1117/12.281235 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Kerstin Woerhoff; Paul Lambeck; H. Albers; O.F.J. Noordman; Niko F. van Hulst; et al 出版日期：1997-09-24
求助人	小孙在 2025-03-06 11:59:19 发布自上海，悬赏 20 积分
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