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 Competitive adsorption mechanism of SiHCl3 with BCl3 under a hydrogen atmosphere: boron impurities introduction into polysilicon 氢气气氛下SiHCl3与BCl3的竞争吸附机理：多晶硅中硼杂质的引入
相关领域
材料科学
硼
杂质
大气（单位）
吸附
氢
机制（生物学）
化学工程
物理化学
有机化学
热力学
化学
物理
认识论
工程类
哲学
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| 其它 |
期刊：Materials Today Communications 作者：Xingping Yuan; Dan Zhao; Wenhui Ma; Qi Zhang; Lijie Guo; et al 出版日期：2024-05-01 |
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