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标题
Spectral interference ellipsometry for film thickness measurement on transparent substrate
光谱干涉椭偏法测量透明衬底薄膜厚度
相关领域
材料科学 椭圆偏振法 干扰(通信) 基质(水族馆) 光学 反射率 光电子学 计算机科学 薄膜 电信 纳米技术 地质学 物理 海洋学 频道(广播)
网址
DOI
10.1016/j.optlaseng.2023.107819 doi
其它 期刊:Optics and Lasers in Engineering
作者:Jinxu Zhang; Liheng Shi; R. Zhang; Jiayang Chen; Guanhao Wu
出版日期:2023-12-01
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