Profile control of novel non-Si gates using plasma

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标题	Profile control of novel non-Si gates using plasma 利用等离子体控制新型非硅栅极的轮廓
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-abstract/25/3/739/46847...
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
求助人	Frank 在 2024-07-06 23:41:21 发布自陕西，悬赏 10 积分
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